用語解説

DLCやTiN等の硬質薄膜の密着性を評価する試験法の一つである。鏡面に加工された平板素材へ試験皮膜を被覆し、ダイヤモンドの針で荷重を徐々に大きくしながら引っかく試験で、皮膜が剥離する荷重で皮膜の密着性を評価する。なお、評価する皮膜の膜厚が変わったり、素材硬度が変わると試験結果が変わるので試験素材を同一にすることや皮膜厚みを同一にする必要がある。