Before (改善前)

高真空容器の蓋にはシール性の高いゴムパッキンが使われる場合が多い。ゴムが弾性変形することでシール性を高めているのだが、ゴムパッキンは減圧によりゴム樹脂由来のガスが発生するため、容器内で精製する製品によってはそのガスが悪影響を及ぼす場合がある。メタル系のパッキンを使用すればガスは発生しないが、ゴムに比べ硬いため変形量が少なく気密性が十分発揮出来ない。

V

After (改善後)

高真空容器の蓋に軟質金属をめっき被覆したメタル系のパッキンを使用することで、軟質金属が変形してゴムパッキンと同程度の気密性を得ることが出来る。且つ減圧下でもメタル系のパッキンと軟質金属めっきからは樹脂系のガスが発生しないため容器内で精製される製品への悪影響をなくすことが出来た。

POINT(要約)

高真空環境下で使用する容器に軟質金属めっきを被覆したメタルパッキンを使用することで、ゴムパッキンと同様の気密性の確保と、樹脂由来のアウトガス発生をなくすことが出来る。